Полировка стекла полиритов

Здравствуйте!
Подскажите, полирую кварцевое стекло полиритом. Плоская полировка детали 60 мм, фетровый полировальник. В некоторых местах появляются ямки-выколки, царапин в микроскоп не видно. С чем это может быть связано?